10.18453/rosdok_id00001432 Plappert, Mathias Karl Heinrich Mathias Karl Heinrich Plappert http://d-nb.info/gnd/1059558599 Universität Rostock 2014 620 Engineering & allied operations 2014 de http://purl.uni-rostock.de/rosdok/id00001432 urn:nbn:de:gbv:28-diss2014-0184-9 Die vorliegende Arbeit untersucht WTi- und WTiN-Diffusionsbarrieren. Die werkstoffphysikalischen Eigenschaften werden in Abhängigkeit des Sputterprozesses umfangreich evaluiert. Dies geschieht sowohl experimentell, theoretisch als auch simulativ. Der Einfluss der Dünnschichtcharakteristika auf die Barrierenstabilität wird mit Hilfe von Beschleunigungstests und analytischen Methoden ermittelt. Die Integration von langzeitstabilen Diffusionsbarrieren auf Leistungshalbleitern ist ein weiterer Bestandteil dieser Arbeit.