| title: |
| Untersuchungen an diffusionsstabilen Aluminium-Silizium Barrieren für die Halbleiter
in der Leistungselektronik |
|
| contributing persons: |
| Mathias Karl Heinrich Plappert[VerfasserIn] |
 |
1059558599 |
| Mathias Nowottnick
, Prof. Dr.-Ing. habil.[AkademischeR BetreuerIn] |
|
115095489 |
|
Universität Rostock, Institut für Gerätesysteme und Schaltungstechnik |
| Klaus-Dieter Lang
, Prof. Dr.-Ing. Dr. sc. techn.[AkademischeR BetreuerIn] |
|
Technische Universität Berlin, Fakultät für Informatik und Elektrotechnik |
| Oliver Humbel
, Dr. sc. techn.[AkademischeR BetreuerIn] |
|
Infineon Technologies Austria AG |
|
| contributing corporate bodies: |
| Universität Rostock, Fakultät für Informatik und Elektrotechnik[Grad-verleihende Institution] |
|
10085032-7 |
|
| |
| abstract: |
|
Die vorliegende Arbeit untersucht WTi- und WTiN-Diffusionsbarrieren. Die werkstoffphysikalischen
Eigenschaften werden in Abhängigkeit des Sputterprozesses umfangreich evaluiert. Dies
geschieht sowohl experimentell, theoretisch als auch simulativ. Der Einfluss der Dünnschichtcharakteristika
auf die Barrierenstabilität wird mit Hilfe von Beschleunigungstests und analytischen
Methoden ermittelt. Die Integration von langzeitstabilen Diffusionsbarrieren auf Leistungshalbleitern
ist ein weiterer Bestandteil dieser Arbeit.
[German] |
|
The present thesis investigates WTi- and WTiN-diffusion barriers. The physical and
chemical properties were evaluated on the basis of experimental, theoretical and simulation
data as a function of the sputtering process. The influence of the thin film characteristics
on barrier stability is analyzed with the help of accelerated reliability tests and
analytical methods. The integration of long term stable diffusion barriers is a further
constituent of this work.
[English] |
|
| document type: |
|
| institution: |
| Faculty of Computer Science and Electrical Engineering |
|
| language: |
|
| subject class (DDC): |
| 620 Engineering & allied operations |
|
| |
publication /
production: |
Rostock
|
Rostock: Universität Rostock
|
|
2014
|
|
| |
| identifiers: |
|
| |
| access condition: |
|
| license/rights statement: |
all rights reserved
This work may only be used under the terms of the German Copyright Law (Urheberrechtsgesetz). |
|
|
| RosDok id: |
rosdok_disshab_0000001253 |
| created / modified: |
11.11.2014 / 08.08.2023
|
| metadata license: |
The metadata of this document was dedicated to the public domain
(CC0 1.0 Universal Public Domain Dedication). |
access
viewer
fulltext