Titel: |
Untersuchungen an diffusionsstabilen Aluminium-Silizium Barrieren für die Halbleiter
in der Leistungselektronik |
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Beteiligte Personen: |
Mathias Karl Heinrich Plappert[VerfasserIn] |
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1059558599 |
Mathias Nowottnick
, Prof. Dr.-Ing. habil.[AkademischeR BetreuerIn] |
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115095489 |
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Universität Rostock, Institut für Gerätesysteme und Schaltungstechnik |
Klaus-Dieter Lang
, Prof. Dr.-Ing. Dr. sc. techn.[AkademischeR BetreuerIn] |
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Technische Universität Berlin, Fakultät für Informatik und Elektrotechnik |
Oliver Humbel
, Dr. sc. techn.[AkademischeR BetreuerIn] |
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Infineon Technologies Austria AG |
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Beteiligte Körperschaften: |
Universität Rostock, Fakultät für Informatik und Elektrotechnik[Grad-verleihende Institution] |
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10085032-7 |
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Zusammenfassung: |
Die vorliegende Arbeit untersucht WTi- und WTiN-Diffusionsbarrieren. Die werkstoffphysikalischen
Eigenschaften werden in Abhängigkeit des Sputterprozesses umfangreich evaluiert. Dies
geschieht sowohl experimentell, theoretisch als auch simulativ. Der Einfluss der Dünnschichtcharakteristika
auf die Barrierenstabilität wird mit Hilfe von Beschleunigungstests und analytischen
Methoden ermittelt. Die Integration von langzeitstabilen Diffusionsbarrieren auf Leistungshalbleitern
ist ein weiterer Bestandteil dieser Arbeit.
[Deutsch] |
The present thesis investigates WTi- and WTiN-diffusion barriers. The physical and
chemical properties were evaluated on the basis of experimental, theoretical and simulation
data as a function of the sputtering process. The influence of the thin film characteristics
on barrier stability is analyzed with the help of accelerated reliability tests and
analytical methods. The integration of long term stable diffusion barriers is a further
constituent of this work.
[Englisch] |
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Dokumenttyp: |
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Einrichtung: |
Fakultät für Informatik und Elektrotechnik |
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Sprache: |
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Sachgruppe der DNB: |
620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
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Veröffentlichung / Entstehung: |
Rostock
Rostock: Universität Rostock
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2014
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Identifikatoren: |
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Zugang: |
frei zugänglich (Open Access)
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Lizenz/Rechtehinweis: |
alle Rechte vorbehalten Das Werk darf ausschließlich nach den vom deutschen Urheberrechtsgesetz festgelegten Bedingungen genutzt werden. |
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RosDok-ID: |
rosdok_disshab_0000001253 |
erstellt / geändert am: |
11.11.2014 / 08.08.2023
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Metadaten-Lizenz: |
Die Metadaten zu diesem Dokument sind gemeinfrei (CC0 1.0 Universal Public Domain Dedication). |